用于真空枯燥設(shè)備的真空體系經(jīng)常會(huì)呈現(xiàn)上述致使真空泵損壞的景象。由于真空枯燥處理的目的即是為了排除水蒸氣。商品在枯燥前的儲(chǔ)運(yùn)及制作過程中以及真空罐本身在敞口時(shí)期，不免帶進(jìn)不少粉塵和顆粒狀雜質(zhì)。在真空體系處于高壓力抽氣期間時(shí)，這些雜質(zhì)有也許被湍流狀氣流帶進(jìn)真空泵的泵腔內(nèi)。

為了避免呈現(xiàn)由于上述因素而致使機(jī)械真空泵損壞，除了請(qǐng)求在技術(shù)過程中盡量使真空體系清潔外，可在真空泵的進(jìn)氣口設(shè)備過濾網(wǎng)，阻撓從進(jìn)氣口也許進(jìn)入到泵腔的雜質(zhì)污物。在泵的進(jìn)氣口處設(shè)置捕污腔，避免如果泵進(jìn)氣口的網(wǎng)損壞或別的因素使污物進(jìn)入進(jìn)氣口，也只能落在捕污腔中，而不會(huì)進(jìn)入到真空泵腔內(nèi)。

為避免泵油中的粉塵、顆粒物質(zhì)隨泵油一同進(jìn)入泵腔，對(duì)某些技術(shù)過程，在泵運(yùn)轉(zhuǎn)過程中應(yīng)設(shè)有連續(xù)泵油過濾設(shè)備。相對(duì)干凈的油則由設(shè)于副油箱中上部的過濾器過濾后經(jīng)進(jìn)油管進(jìn)入分油腔后供給端蓋和泵腔作業(yè)。

在過濾器上常常設(shè)置壓力表以顯現(xiàn)過濾器是不是阻塞。當(dāng)壓力增加，油不能正常活動(dòng)時(shí)，即為過濾器阻塞，應(yīng)替換或清潔過濾芯。

真空泵通常每周檢查一下油量。換油的時(shí)刻距離依作業(yè)條件而定。通常因油潤(rùn)滑不良、油分化或污染物太多使泵極限壓力上升時(shí)，就需要替換油了。